产品展示
设备特点 Equipment Characteristics：
● 适用于CVD沉硅、包覆等
● 优化翻料板使物料反应均匀充分
● 磁流体接头良好密封
● 粉尘收集处理与尾气液封
● 外置风机快速冷却高效率
● 多温区PID精准控温
● 防爆设计，远程监控
● 可定制高温出料等设计
设备介绍 Equipment Introduction：
1、设备用途：硅基负极材料气相沉积碳包覆连续生产
2、工作气体：惰性气体N2、Ar，反应气体CH4、C2H2等
3、进出料方式：配合真空、搅拌、冷却系统，不锈钢螺杆螺旋给料
4、工作方式：物料进料-CVD沉积-冷却-出料-尾气处理集尘
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